
Cleanrooms and associated controlled environments Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
出版:German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

專家解讀視頻
基本信息
標準編號: DIN EN ISO 14644-14 (2017-01)
發布時間:2017/1/1 0:00:00
標準類別:Standard
出版單位:German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
標準頁數:30
本標準替代的舊標準
等同采用的國際標準
EN ISO 14644-14:2016 - Identical