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NF EN 62047-11:2014現行

Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 11: Test Method For Coefficients Of Linear Thermal Expansion Of Free-Standing Materials For Micro-Electromechanical Systems

出版：Association Francaise de Normalisation

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基本信息
標準編號： NF EN 62047-11:2014
發布時間：2014/3/1 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：Association Francaise de Normalisation
標準頁數：0
標準簡介

2014 [01/03/2014]2012 PR [01/05/2012]

標準備注

Indice de classement: C96-050-11. PR NF EN 62047-11 May 2012. (05/2012)

本標準替代的舊標準

NF EN 62047-11:2012