DIN EN 62047-21 (2015-04)現行

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials (iec 62047-21:2014)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

標準編號： DIN EN 62047-21 (2015-04)

發布時間：2015/4/1 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

標準頁數：16

標準簡介

2015 [01/04/2015]DRAFT 2012 [01/11/2012]

本標準替代的舊標準

DIN EN 62047-21 (2012-11)

等同采用的國際標準

EN 62047-21:2014 - Identical

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