DIN EN 62047-16 (2015-12)現行
Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods (iec 62047-16:2015)
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
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基本信息
標準編號： DIN EN 62047-16 (2015-12)
發布時間：2015/12/1 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
標準頁數：13
標準簡介
2015 [01/12/2015]DRAFT 2012 [01/11/2012]
本標準替代的舊標準
等同采用的國際標準
EN 62047-16:2015 - Identical
