OVE/ONORM EN 62047-21:2015現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials (Iec 62047-21:2014)
出版：Osterreichisches Normungsinstitut
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基本信息
標準編號： OVE/ONORM EN 62047-21:2015
發布時間：2015/6/1 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：Osterreichisches Normungsinstitut
標準頁數：18
標準簡介
2015 [01/06/2015]
等同采用的國際標準
EN 62047-21:2014 - Identical
