
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版:Belgian Standards

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基本信息
標準編號: NBN EN 62047-21:2014
發布時間:2014/11/1 0:00:00
標準類別:Standard
出版單位:Belgian Standards
標準頁數:0
標準簡介
2014 [01/11/2014]
等同采用的國際標準
EN 62047-21 : 2014 - Identical
IEC 62047-21 : 1ED 2014 - Identical
EN 62047-21:2014 - Identical