ISO/DIS 14644-9 : 60.00 (2012)被替代

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 9: CLASSIFICATION OF SURFACE CLEANLINESS BY PARTICLE CONCENTRATION

出版：International Organization for Standardization

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基本信息

標準編號： ISO/DIS 14644-9 : 60.00 (2012)

標準類別：Standard

出版單位：International Organization for Standardization

標準頁數：0

標準簡介

Defines the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications.

替代本標準的新標準

ISO 14644-9 : 2012

等同采用的國際標準

08/30190157 DC : DRAFT SEP 2008 - Identical

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ISO/DIS 14644-9 : 60.00 (2012)被替代

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