NEN EN IEC 62047-16:2015現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Nederlands Normalisatie Instituut
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： NEN EN IEC 62047-16:2015
標準類別：Standard
出版單位：Nederlands Normalisatie Instituut
標準頁數：21
標準簡介
2015 [01/08/2015]
等同采用的國際標準
EN 62047-16:2015 - Identical
