
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版:Comitato Elettrotecnico Italiano

專家解讀視頻
基本信息
標準編號: CEI EN 62047-17 Ed. 1 (2016)
標準類別:Standard
出版單位:Comitato Elettrotecnico Italiano
標準頁數:34
標準簡介
1ED 2016 [01/01/2016]
標準備注
Classificazione CEI 47-127. (08/2017)
等同采用的國際標準
EN 62047-17:2015 - Identical