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I.S. EN 62047-22:2014現(xiàn)行

Semiconductor Devices - Microelectromechanical Devices Part 22: Electromechanical Tensile Test Method for Conductive Thin Films on Flexible Substrates

出版:National Standards Authority of Ireland

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基本信息
標準編號: I.S. EN 62047-22:2014
發(fā)布時間:2014/10/24 0:00:00
標準類別:Standard
出版單位:National Standards Authority of Ireland
標準頁數(shù):32
標準簡介

Defines a tensile test method to measure electromechanical properties of conductive thin micro-electromechanical systems (MEMS) materials bonded on non-conductive flexible substrates.

等同采用的國際標準

EN 62047-22:2014 - Identical