NF EN 62047-21:2014現(xiàn)行

Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials

出版：Association Francaise de Normalisation

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基本信息

標準編號： NF EN 62047-21:2014

發(fā)布時間：2014/12/1 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：Association Francaise de Normalisation

標準頁數(shù)：0

標準簡介

2014 [01/12/2014]2013 PR [01/06/2013]

標準備注

Indice de classement: C96-050-21. PR NF EN 62047-21 June 2013. (07/2013)

本標準替代的舊標準

NF EN 62047-21:2013

等同采用的國際標準

EN 62047-21:2014 - Identical

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