DIN EN 62047-1 (2014-05)被替代

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 1: Terms and definitions (IEC 47F/177/CD:2013)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息

標準編號： DIN EN 62047-1 (2014-05)

發布時間：2014/5/1 0:00:00

標準類別：Draft

出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

標準頁數：59

替代本標準的新標準

DIN EN 62047-1 (2016-12)

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