NF EN 62047-16:2015現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Association Francaise de Normalisation
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： NF EN 62047-16:2015
標準類別：Standard
出版單位：Association Francaise de Normalisation
標準頁數：0
標準簡介
2015 [01/11/2015]
標準備注
Indice de classement: C96-050-16. (11/2015)
等同采用的國際標準
EN 62047-16:2015 - Identical
