OVE/ONORM EN 62047-16:2016現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods (Iec 62047-16:2015)
出版：Osterreichisches Normungsinstitut
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基本信息
標準編號： OVE/ONORM EN 62047-16:2016
標準類別：Standard
出版單位：Osterreichisches Normungsinstitut
標準頁數：14
標準簡介
2016 [01/02/2016]
等同采用的國際標準
EN 62047-16:2015 - Identical
