ASTM F1709-97(2002)被替代
Standard Specification for High Purity Titanium Sputtering Targets for Electronic Thin Film Applications
出版：American Society for Testing and Materials
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： ASTM F1709-97(2002)
發(fā)布時間：2002/12/10 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：American Society for Testing and Materials
標準頁數：3
標準簡介
CONTAINED IN VOL. 10.04, 2006Covers pure titanium sputtering targets used as a raw material in fabricating semiconductor electronic devices, and sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods and packaging.
本標準替代的舊標準
替代本標準的新標準
