CEI EN 62047-21 Ed. 1 (2016)現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson'S Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版：Comitato Elettrotecnico Italiano
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： CEI EN 62047-21 Ed. 1 (2016)
標準類別：Standard
出版單位：Comitato Elettrotecnico Italiano
標準頁數：22
標準簡介
1ED 2016 [01/05/2016]
標準備注
Classificazione CEI 47-130. (06/2016)
等同采用的國際標準
EN 62047-21:2014 - Identical
