DS EN 62047-1:2006被替代
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 1: Terms And Definitions
出版：Danish Standards
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： DS EN 62047-1:2006
發布時間：2006/10/27 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：Danish Standards
標準頁數：32
標準簡介
Describes the terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.
替代本標準的新標準
等同采用的國際標準
EN 62047-1:2016 - Identical
