PREN ISO 14644-9 : DRAFT 2008被替代

CLEANROOMS AND ASSOCIATED CONTROLLED ENVIRONMENTS - PART 9: CLASSIFICATION OF SURFACE PARTICLE CLEANLINESS

出版：Comite Europeen de Normalisation

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)編號： PREN ISO 14644-9 : DRAFT 2008

標(biāo)準(zhǔn)類別：Draft

出版單位：Comite Europeen de Normalisation

標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù)：0

標(biāo)準(zhǔn)簡介

Specifies the classification of the particle contamination levels on solid surfaces in cleanrooms and associated controlled environment applications.

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