SS EN 62047-16 Ed. 1 (2016)現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 16: Test Methods For Determining Residual Stresses Of Mems Films - Wafer Curvature And Cantilever Beam Deflection Methods
出版：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： SS EN 62047-16 Ed. 1 (2016)
標準類別：Standard
出版單位：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
標準頁數：14
標準簡介
1ED 2016 [13/01/2016]
等同采用的國際標準
EN 62047-16:2015 - Identical
