DIN IEC 60204-33 : DRAFT 2006被替代
SAFETY OF MACHINERY - ELECTRICAL EQUIPMENT OF MACHINES - PART 33: REQUIREMENTS FOR SEMICONDUCTOR FABRICATION EQUIPMENT
出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： DIN IEC 60204-33 : DRAFT 2006
標準類別：Draft
出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
標準頁數(shù)：0
標準簡介
Dieser Teil von IEC 60204 gilt für die Anwendung von elektrischer und elektronischer Ausrüstung für die Halbleiterfertigung (Herstellung, Messung, Montage und Prüfung). Er gilt für die elekt. Ausrüstung oder Teile der elekt.
替代本標準的新標準
等同采用的國際標準
VDE 0113-33 : 2011 - Corresponds
