ISO/FDIS 14644-14被替代

Cleanrooms and associated controlled environments Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration

出版：International Organization for Standardization

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基本信息

標準編號： ISO/FDIS 14644-14

標準類別：Draft

出版單位：International Organization for Standardization

標準頁數：0

替代本標準的新標準

ISO 14644-14:2016

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