BS EN 62047-17:2015現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版：British Standards Institution
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： BS EN 62047-17:2015
標準類別：Standard
出版單位：British Standards Institution
標準頁數：34
標準簡介
2015 [31/07/2015]
標準備注
Supersedes 11/30231583 DC. (07/2015)
本標準替代的舊標準
等同采用的國際標準
EN 62047-17:2015 - Identical
