SS EN 62047-21 Ed. 1 (2014)現行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 21: Test Method For Poisson's Ratio Of Thin Film Mems Materials
出版：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： SS EN 62047-21 Ed. 1 (2014)
發布時間：2014/12/18 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：Standardiserings-Kommissionen I Sverige
標準頁數：16
標準簡介
1ED 2014 [18/12/2014]
等同采用的國際標準
EN 62047-21:2014 - Identical
