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KS I ISO 14644-6:2009被替代

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 6:Vocabulary

出版：Korean Standards Association

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基本信息

標準編號： KS I ISO 14644-6:2009

發布時間：2009/12/18 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：Korean Standards Association

標準頁數：20

替代本標準的新標準

KS I ISO 14644-6:2014

等同采用的國際標準

ISO 14644-6:2007 - Identical

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