I.S. EN 62047-17:2015現行
Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices Part 17: Bulge Test Method for Measuring Mechanical Properties of Thin Films
出版：National Standards Authority of Ireland
專家解讀視頻
基本信息
標準編號： I.S. EN 62047-17:2015
發布時間：2015/7/28 0:00:00
標準類別：Standard
出版單位：National Standards Authority of Ireland
標準頁數：66
標準簡介
Defines the method for performing bulge tests on the free-standing film that is bulged within a window.
等同采用的國際標準
EN 62047-17:2015 - Identical
