I.S. EN ISO 14644-9:2012現行

Cleanrooms and Associated Controlled Environments Part 9: Classification of Surface Cleanliness by Particle Concentration (iso 14644-9:2012)

出版：National Standards Authority of Ireland

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基本信息

標準編號： I.S. EN ISO 14644-9:2012

發布時間：2012/8/22 0:00:00

標準類別：Standard

出版單位：National Standards Authority of Ireland

標準頁數：41

標準簡介

Describes the classification of cleanliness levels on solid surfaces by particle concentration in cleanrooms and associated controlled environment applications.

等同采用的國際標準

ISO 14644-9 : 2012 - Identical

EN ISO 14644-9 : 2012 - Identical

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