
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版:Polish Committee for Standardization

專家解讀視頻
基本信息
標準編號: PN EN 62047-17:2015
標準類別:Standard
出版單位:Polish Committee for Standardization
標準頁數(shù):36
標準簡介
2015 [07/10/2015]
等同采用的國際標準
EN 62047-17:2015 - Identical