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DIN IEC 62047-11 (2010-06)被替代

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials (IEC 47F/49/CD:2010)

出版：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)

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基本信息
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)： DIN IEC 62047-11 (2010-06)
發(fā)布時(shí)間：2010/6/1 0:00:00
標(biāo)準(zhǔn)類別：Draft
出版單位：German Institute for Standardisation (Deutsches Institut für Normung)
標(biāo)準(zhǔn)頁(yè)數(shù)：24
替代本標(biāo)準(zhǔn)的新標(biāo)準(zhǔn)

DIN EN 62047-11 (2014-04)