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BS IEC 62047-4. Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices. Part 4. Generic specifications for MEMS

出版：British Standards Institution

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基本信息

標準編號： 07/30148822 DC

發布時間：2007/5/10 0:00:00

標準類別：Draft

出版單位：British Standards Institution

標準頁數：23

標準備注

? British Standards Institution 2013

General notes:
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替代本標準的新標準

BS EN 62047-4:2010

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