ISO/FDIS 14644-9.2被替代

Cleanrooms and associated controlled environments Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

出版：International Organization for Standardization

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)編號： ISO/FDIS 14644-9.2

標(biāo)準(zhǔn)類別：Draft

出版單位：International Organization for Standardization

標(biāo)準(zhǔn)頁數(shù)：0

本標(biāo)準(zhǔn)替代的舊標(biāo)準(zhǔn)

ISO/FDIS 14644-9

替代本標(biāo)準(zhǔn)的新標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644-9:2012

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