
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版:Nederlands Normalisatie Instituut

專家解讀視頻
基本信息
標準編號: NEN EN IEC 62047-17:2015
標準類別:Standard
出版單位:Nederlands Normalisatie Instituut
標準頁數:54
標準簡介
2015 [01/08/2015]
等同采用的國際標準
EN 62047-17:2015 - Identical