SEMI MF1535 : 2015現(xiàn)行

TEST METHOD FOR CARRIER RECOMBINATION LIFETIME IN ELECTRONIC-GRADE SILICON WAFERS BY NONCONTACT MEASUREMENT OF PHOTOCONDUCTIVITY DECAY BY MICROWAVE REFLECTANCE

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

標準編號： SEMI MF1535 : 2015

標準類別：Standard

出版單位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

標準頁數(shù)：0

標準簡介

Describes test method for carrier recombination lifetime in electronic-grade silicon wafers by noncontact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance.

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SEMI MF1535 : 2015現(xiàn)行

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