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電子工業用氣體　砷化氫 現行

Gases for electronic industry—Arsine

標準號：GB/T 26250-2010

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基本信息

標準號：GB/T 26250-2010
發布時間：2011-01-14
實施時間：2011-05-01
首發日期：2011-01-14
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：孫福楠、方華、周鵬云、莊鴻濤、李建浩
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：西南化工研究設計院、上海華愛色譜分析技術有限公司、光明化工研究設計院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會(SAC/TC 203/SC 1)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會(SAC/TC 203/SC 1)

標準簡介

本標準規定了砷化氫的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。 本標準適用于砷化合物與酸反應獲得的砷化氫。在半導體器件制備過程中，砷化氫用于摻雜以及化合物半導體外延。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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