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電子工業用氣體 八氟丙烷
電子工業用氣體 八氟丙烷 現行
Gas for electronic industry—Perfluoropropane
標準號：GB/T 31986-2015
基本信息
標準號：GB/T 31986-2015
發布時間：2015-09-11
實施時間：2016-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：林宇巍、陳熔、史婉君、方路、廖恒易、金向華、孫猛、方華、孫福楠、方正、崔學文、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：:國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了八氟丙烷的技術要求、試驗方法、包裝、標志、貯運和安全。本標準適用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制備,并通過精餾、吸附、催化等工藝提純的八氟丙烷產品,以及碳和氟直接反應法合成的八氟丙烷產品。它在電子工業等離子蝕刻工藝中作為蝕刻氣體或清洗氣體。分子式:C3F8。相對分子質量:188.017(按2011年國際相對原子質量)。
標準摘要
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本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。 請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標準起草單位:國家化學工業氣體產品質量監督檢驗中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、中昊光明化工研究設計院有限公司、四川中測標物科技有限公司、天津長蘆華信化工股份有限公司、西南化工研究設計院有限公司。 本標準主要起草人:林宇巍、陳熔、史婉君、方路、廖恒易、金向華、孫猛、方華、孫福楠、方正、崔學文、周鵬云。 |
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