半導體設備可靠性、可用性和維修性（RAM）的定義和測量規范 現行
Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability availability and maintainability(RAM)
標準號：GB/T 24468-2009
基本信息
標準號：GB/T 24468-2009
發布時間：2009-10-15
實施時間：2009-12-01
首發日期：2009-10-15
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子測量與儀器綜合
ICS分類：測量儀器儀表
起草單位：中國電子技術標準化研究所
歸口單位：469-203 全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
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