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掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法 現(xiàn)行

Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

標準號：GB/T 29190-2012

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基本信息

標準號：GB/T 29190-2012
發(fā)布時間：2012-12-31
實施時間：2013-06-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：黃文浩、陳宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛頓、朱五林、劉一
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 光學計量
ICS分類：有關光學和光學測量的其他標準
提出單位：中國科學院
起草單位：中國科學技術大學、上海市計量測試技術研究院
歸口單位：全國納米技術標準化技術委員會(SAC/TC279)歸口。
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國科學院

標準簡介

本標準規(guī)定了SPM 漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數(shù)規(guī)格,及基于SPM 掃描圖像的漂移速率測量基本方法。本標準適用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率測量。本標準中的漂移測量不適用于圖像校正。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任。
本標準由中國科學院提出并歸口。
本標準由全國納米技術標準化技術委員會(SAC/TC279)歸口。
本標準起草單位:中國科學技術大學、上海市計量測試技術研究院。
本標準主要起草人:黃文浩、陳宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛頓、朱五林、劉一。

標準目錄

前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范圍 1
2 規(guī)范性引用文件 1
3 術語和定義、縮略語 1
4 測量方法 2
5 要求 2
5.1 儀器要求 2
5.2 環(huán)境要求 2
6 測量步驟 2
7 測量報告 3
附錄A (規(guī)范性附錄) 圖像相關分析法 4
附錄B(規(guī)范性附錄) 特征點法 7
附錄C (規(guī)范性附錄) 非周期光柵法 9
附錄D (資料性附錄) 原子光柵法 12
附錄E (資料性附錄) 測量方法比較 14
參考文獻 15

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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