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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法 現(xiàn)行

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 38446-2020

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 38446-2020
發(fā)布時間：2020-03-06
實施時間：2020-10-01
首發(fā)日期：
起草人：張威、李海斌、張亞婷、朱悅、夏長奉、石云波、陳得民、馬書嫏、程紅兵、周浩楠。
起草單位：北京大學(xué)、中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、北京智芯傳感科技有限公司、無錫華潤上華科技有限公司、中北大學(xué)、北京必創(chuàng)科技股份有限公司。
歸口單位：全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

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