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薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片

Alumina ceramic substrates for thin film integrated circuits
標準號:GB/T 14620-2013
基本信息
標準號:GB/T 14620-2013
發布時間:2013-11-12
實施時間:2014-04-15
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:曹易、李曉英
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 電子技術專用材料
ICS分類:
31.030
提出單位:中華人民共和國工業和信息化部
起草單位:中國電子技術標準化研究院
歸口單位:中國電子技術標準化研究院
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:中國電子技術標準化研究院
標準簡介
本標準規定了薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片的要求、測試方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存。本標準適用于薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片(以下簡稱“基片”)的生產和采購,采用薄膜工藝的片式元件用氧化鋁陶瓷基片也可參照使用。
標準摘要
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準代替GB/T14620—1993《薄膜集成電路用氧化鋁陶瓷基片》,與GB/T14620—1993相比,主要變化如下: ———增加了術語和產品標識(見第3章和第4章); ———增加了對標稱氧化鋁含量不能小于實際含量的要求(見4.3); ———細化了劃線前后可能對基片外形尺寸造成影響的指標(見5.2.2); ———增加了對基片直線度的要求(見表2); ———區分燒結和拋光基片(見表1和表5); ———對基片翹曲度的測試進行了詳細說明(見附錄A)。 本標準由中華人民共和國工業和信息化部提出。 本標準由中國電子技術標準化研究院歸口。 本標準起草單位:中國電子技術標準化研究院。 本標準主要起草人:曹易、李曉英。 本標準所代替標準的歷次版本發布情況: ———GB/T14620—1993。 |
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