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電子工業用氣體 氧化亞氮
電子工業用氣體 氧化亞氮 已作廢
Gases for electronic industry. Nitrous oxide
標準號：GB/T 14600-1993
基本信息
標準號：GB/T 14600-1993
發布時間：1993-08-26
實施時間：1994-07-01
首發日期：1993-08-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：段淑芳
作廢日期：2010-05-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：中華人民共和國化學工業部
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用氣體——瓶裝氧化亞氮的技術要求、試驗方法、檢驗規則、標志、包裝、運輸和貯存要求。本標準適用于硝酸銨熱分解工藝制取的氧化亞氮。該產品主要用于電子工業中二氧化硅的化學氣相淀積、等離子工藝。
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