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電子工業(yè)用氣體 六氟化硫 現(xiàn)行

Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18867-2014

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18867-2014
發(fā)布時(shí)間：2014-12-22
實(shí)施時(shí)間：2015-07-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：黃曉磊、牛學(xué)坤、賴(lài)明貴、傅濤、劉長(zhǎng)慶、任清貴、史淑慧、方正、廖恒易、李曉明、曲慶、楊任、常俠、楊遂平、鄧建平、方華、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類(lèi)：工業(yè)氣體
提出單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
起草單位：黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司、成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市華特氣體有限公司、四川眾力氟業(yè)有限責(zé)任公司等
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
發(fā)布部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯存及安全等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等。分子式:SF6。相對(duì)分子質(zhì)量:146.0564192(按2007年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算)。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專(zhuān)利的責(zé)任。
本標(biāo)準(zhǔn)代替 GB/T18867—2002《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》。與 GB/T18867—2002相比,除編輯性修改外主要技術(shù)變化如下:
———修改了范圍(見(jiàn)第1章,2002年版的第1章);
———修改了規(guī)范性引用文件(見(jiàn)第2章,2002年版的第2章);
———修改了技術(shù)指標(biāo)(見(jiàn)第3章,2002年版的第3章);
———修改了抽樣、判定和復(fù)驗(yàn)(見(jiàn)4.1,2002年版的第5章);
———修改了氧+氬、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的測(cè)定方法(見(jiàn)4.3,2002年版的4.2、4.3);
———?jiǎng)h除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的測(cè)定方法(見(jiàn)2002年版的4.4);
———增加了一氧化碳和甲烷含量的測(cè)定方法(見(jiàn)4.3);
———修改了水分含量的測(cè)定方法(見(jiàn)4.4,2002年版的4.5);
———修改了標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全(見(jiàn)第5章,2002年版的第6章)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司、成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市華特氣體有限公司、四川眾力氟業(yè)有限責(zé)任公司、上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司、大連大特氣體有限公司、四川中測(cè)標(biāo)物科技有限公司、上海儀盟電子科技有限公司、光明化工研究設(shè)計(jì)院、上海基量標(biāo)準(zhǔn)氣體有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、核工業(yè)理化工程研究院華核新技術(shù)開(kāi)發(fā)公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:黃曉磊、牛學(xué)坤、賴(lài)明貴、傅濤、劉長(zhǎng)慶、任清貴、史淑慧、方正、廖恒易、李曉明、曲慶、楊任、常俠、楊遂平、鄧建平、方華、周鵬云。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T18867—2002。

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