基本信息
標準號：YS/T 43-2011
發布時間：2011-12-20
實施時間：2012-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：楊衛東、程高明、鄒同貴、王飛、廖敏
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬
ICS分類：半導體材料
起草單位：峨嵋半導體材料廠、峨眉山嘉美高純材料有限公司
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會
標準簡介
本標準規定了高純砷的分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則、產品標識、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于以工業砷為原料，經升華、氯化、精餾、氫還原等加工提純后制成的純度不小于99.999%、99.9999%、99.99999%的高純砷。產品主要用于制造砷化鎵等Ⅲ-Ⅴ族化合物半導體、外延源以及半導體摻雜劑等。
標準摘要
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本標準代替YS/T43—1992《高純砷》。 本標準是對YS/T43—1992《高純砷》的修訂,本標準與YS/T43—1992相比,主要有如下變動: ———產品分類中增加了一個牌號As-07,檢測雜質包括鎂、鉻、鎳、銅、鋅、銻、鉛、鉍、鈉、鉀、鋁、銀、鈣、鐵等14個元素; ———As-05牌號化學成分增加鈉、鉀、鉍3個雜質元素,檢測元素量由13個增加到16個; ———As-06牌號化學成分因極譜法檢出限的局限,取消硫、硒2個雜質元素,增加鈉、鉀、鉍3個雜質元素,檢測雜質元素由13個增加到14個; ———修訂了原標準試驗方法。采用電感耦合等離子質譜法測定砷中金屬雜質含量,As-05牌號硫、硒雜質仍保留原極譜法測定; ———雜質含量的濃度單位采用國際上慣用的1×10-7%(ppbwt)進行表述; ———產品包裝、運輸、貯存等規定作了部分調整和補充,并要求供方提供產品的安全技術說明書; ———增加了訂貨合同內容。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會歸口。 本標準負責起草單位:峨嵋半導體材料廠、峨眉山嘉美高純材料有限公司。 本標準主要起草人:楊衛東、程高明、鄒同貴、王飛、廖敏。 本標準所代替標準的歷次版本發布情況為: ———YS/T43—1992。 |
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