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以布魯斯特角入射P偏振輻射紅外吸收光譜法測(cè)量硅中間隙氧含量

標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ/T 11552-2015
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):SJ/T 11552-2015
發(fā)布時(shí)間:2015-10-10
實(shí)施時(shí)間:2016-04-01
首發(fā)日期:
起草人:
發(fā)布部門(mén):中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以布魯斯特角入射P偏振輻射紅外吸收光譜法測(cè)量硅中間隙氧含量的方法。
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