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金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法

Gold-plated thickness measurement by SEM
標準號:GB/T 17722-1999
基本信息
標準號:GB/T 17722-1999
發(fā)布時間:1999-04-01
實施時間:1999-01-02
首發(fā)日期:1999-04-11
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:
出版機構(gòu):中國標準出版社
標準分類: 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類:光學設(shè)備
起草單位:中國科學院北京科儀研制中心
歸口單位:全國微束分析標準化技術(shù)委員會
發(fā)布部門:國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規(guī)定了各類金制品的金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法的技術(shù)要求,本標準也適用于電子探針儀測量金覆蓋層厚度,適用的厚度測量范圍為0.2~10um。其他金屬材料的覆蓋層厚度的測量也可參照執(zhí)行。
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