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硅單晶微缺陷的化學腐蝕檢驗方法 已作廢

Singie crystal sllicon-Detection of microdefects-Chemical etching technique

標準號：GB 4057-1983

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基本信息

標準號：GB 4057-1983
發布時間：1983-12-20
實施時間：1984-12-01
首發日期：
起草人：
標準分類： 金屬化學性能試驗方法
起草單位：峨眉半導體材料研究所

標準簡介

本標準行之有效用于電阻率10-1~104Ω.cm的硅單晶。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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