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微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)　微幾何量評(píng)定總則 現(xiàn)行

Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-geometrical parameters

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26113-2010

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26113-2010
發(fā)布時(shí)間：2011-01-10
實(shí)施時(shí)間：2011-10-01
首發(fā)日期：2011-01-10
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：丁紅宇、張?zhí)O、劉偉、蔣莊德、景蔚萱、胡曉東、趙則祥
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 微電路綜合
ICS分類：集成電路、微電子學(xué)
提出單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 336)
起草單位：中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、西安交通大學(xué)、天津大學(xué)、中原工學(xué)院
歸口單位：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 336)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 336)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微幾何量的評(píng)定基本原則、評(píng)定要素、評(píng)定程序、評(píng)定方法以及評(píng)定規(guī)則。本標(biāo)準(zhǔn)適用于企業(yè)、研究機(jī)構(gòu)、檢測(cè)機(jī)構(gòu)等從事微機(jī)電技術(shù)及產(chǎn)品的研究、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、檢測(cè)。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC336)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位:中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心、西安交通大學(xué)、天津大學(xué)、中原工學(xué)院。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:丁紅宇、張?zhí)O、劉偉、蔣莊德、景蔚萱、胡曉東、趙則祥。

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