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微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

General rules for measurement of length in micron scale by SEM
標準號:GB/T 16594-2008
基本信息
標準號:GB/T 16594-2008
發布時間:2008-09-18
實施時間:2009-05-01
首發日期:1996-11-04
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:張訓彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 電化學、熱化學、光學式分析儀器
ICS分類:有關化學分析方法的其他標準
提出單位:全國微束分析標準化技術委員會
起草單位:上海理工大學、上海寶能源技術有限公司、同濟大學、上海市計量測試技術研究院、中國船舶重工集團公司第研究所。
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準代替GB/T 16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。本標準規定了微米級長度的掃描電鏡測量方法的通用原則。本標準與GB/T 16594-1996相比主要變化如下:———將“測量方法”改為“測量方法通則”;———將“誤差分析”改為“不確定度評定”;———增加樣品變形產生的不確定度評定;———改用實驗方法獲取圖像測量的瞄準不確定度量值;———增加“被測長度方向的調整”附錄。
標準摘要
本標準代替GB/T16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。 本標準與GB/T16594-1996相比主要變化如下: ---將測量方法改為測量方法通則; ---將誤差分析改為不確定度評定; ---增加樣品變形產生的不確定度評定; ---改用實驗方法獲取圖像測量的瞄準不確定度量值; ---增加被測長度方向的調整附錄。 本標準的附錄A 為規范性附錄,附錄B~附錄D 為資料性附錄。 本標準由全國微束分析標準化技術委員會提出。 本標準由全國微束分析標準化技術委員會歸口。 本標準主要起草單位:上海元寶能源技術有限公司、上海理工大學、上海市計量測試技術研究院、同濟大學、中國船舶重工集團公司第725研究所。 本標準主要起草人:張訓彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照。 本標準所代替標準的歷次版本發布情況為: ---GB/T16594-1996。 |
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