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砷化鎵單晶AB微缺陷檢驗方法

The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
標準號:GB/T 18032-2000
基本信息
標準號:GB/T 18032-2000
發布時間:2000-04-03
實施時間:2000-09-01
首發日期:2000-04-03
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:王海濤、錢嘉裕、王彤涵、宋斌、樊成才
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 金相檢驗方法
ICS分類:金屬材料試驗綜合
提出單位:國家有色金屬工業局
起草單位:北京有色金屬研究總院
歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門:國家技術質量監督局
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了砷化鎵單晶AB微缺陷的檢驗方法。本標準適用于砷化鎵單晶AB微缺陷密度的檢驗。
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