
Chrome thin films for hard surface photomasks
標準號:GB/T 15870-1995
基本信息
標準號:GB/T 15870-1995
發(fā)布時間:1995-01-02
實施時間:1996-08-01
首發(fā)日期:1995-12-22
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 加工專用設備
ICS分類:
31.030
起草單位:長沙韶光微電子總公司
歸口單位:全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發(fā)布部門:國家技術監(jiān)督局
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規(guī)定了硬面光掩模用鉻薄膜的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等內(nèi)容。本標準適用于硬面光掩模用鉻薄膜。
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