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納米級長度的掃描電鏡測量方法通則
納米級長度的掃描電鏡測量方法通則 現行
General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
標準號：GB/T 20307-2006
基本信息
標準號：GB/T 20307-2006
發布時間：2006-07-19
實施時間：2007-02-01
首發日期：2006-07-19
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：張訓彪、曾榮樹、廖宗廷、盧德生、劉芬、李戎、周劍雄、鄧保慶等
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類：長度和角度測量
提出單位：全國微束分析標準化技術委員會
起草單位：中國科學院地質與地球物理研究所、同濟大學，中國科學院化學所，中國地質科學院礦產資源研究所，上海理工大學
歸口單位：全國微束分析標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了用掃描電鏡測量納米級長度的基本原則。適用于測量10nm-500nm的點或線的間距。
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