300mm 硅單晶 現行
300 mm monocrystalline silicon
標準號：GB/T 29504-2013
基本信息
標準號：GB/T 29504-2013
發布時間：2013-05-09
實施時間：2014-02-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：閆志瑞、孫燕、盧立延、張果虎、樓春蘭、劉培東、向磊
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 元素半導體材料
ICS分類：半導體材料
起草單位：有研半導體材料股份有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所、萬向硅峰電子股份有限公司、寧波立立電子股份有限公司。
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
標準簡介
本標準規定了直徑300mm、p型、晶向、電阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 硅單晶的技術要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸、貯存等。本標準適用于由直拉法制備的硅單晶,主要用于制作滿足集成電路IC用線寬0.13μm 及以下技術需求的300mm 硅單晶拋光片。
標準摘要
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本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。 本標準起草單位:有研半導體材料股份有限公司、中國有色金屬工業標準計量質量研究所、萬向硅峰電子股份有限公司、寧波立立電子股份有限公司。 本標準主要起草人:閆志瑞、孫燕、盧立延、張果虎、樓春蘭、劉培東、向磊。 |
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